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马尔自由曲面测量MFU200
发布时间:2015-11-03   

德国马尔非球面/自由曲面测量系统,突破性实现在MFU200一台仪器上接触式和非接触式的完美结合

高精度的Mahr系列产品是您的工件精确测量的基础

光学和接触测量

使用MarForm MFU 200 Aspheric 3D能够进行表面的光学和接触测量。
干涉法光点传感器(IPS)用于光学测量。
接触测量有多种测针可供选择。
通过电机能把光学或接触式传感器定位在任何需要的角度(0°到360°),提供超高的灵活性。
采用测量系统T7W,能够单独和组合使用多个光学和接触型测头。
采用磁力的方法固定测头,因此很容易更换。

一目了然的优点:
采用光学探头的非接触测量
对抛光表面无损伤
高测量速度
在粗糙表面上采用接触式测头进行测量
采用光学和接触型探头臂相结合的方式测定标准元件
坐标系统的调节

最高的准确性
作为标准形状测量仪MarForm MFU 100的升级产品,MarFormMFU 200 Aspheric 3D测量站是在全球拥有超过300家客户的高精度形状测量机。针对光学行业中与制造相关的测量,已经进行了以下重要的创新:
配备减震器和水平控制装置的测量外罩
在所有3个主测量轴上通过标准尺进行实时补偿。即使是在
测量过程中出现的最小偏差都能被立即记录和纠正
长时间周期的温度稳定性
采用德国马尔高精度转台,圆度偏差<20 nm

自动调心调平
对于非球面的精确和可重复的测量来说,转轴的准确对准是一个先决条件。
MarForm MFU 200 Aspheric 3D具有自动调心调平功能。采用一个校准装置,能够准确地倾斜和对中转轴。对于非球面的三维形状的精确测量,重要的一点是要知道光学器件的最高点。在开始测量之前,通过一套测量程序测定最高点并且把转轴重新对准。这样,即使是夹具造成的最小误差都能获得补偿。

MarForm MFU 200 Aspheric 3D配备电动的、角度灵活的360°探头臂:
全量程范围2000 μm
具有± 500 μm工作量程的零位测头
在0.01 N到0.2 N范围内可调的测量力
双向测量方向
能够以1°为增量选择的测头角度
360°范围内的电动驱动
容易互换的测针(采用磁性夹持)
灵活的星型测头
可选择光学和接触型测针的组合
机械和电气过载保护

MFU 200 Aspheric 3D是用于非球面和自由曲面测量任务的通用测量站。
MarForm MFU 200 Aspheric 3D的优点

自动调心调平
不依赖操作人员的工件定位、对中和对准
主动跟踪
未知几何形状的自动测量
由仪器控制光学和接触式测头自动跟随表面
组合的测头
在一套测量系统中的光学和接触式测头的组合;角度灵活的360°定位自由度
通过一个测量站的进行灵活的测量任务
形状
轮廓
粗糙度
离轴光学器件
径向跳动
光学器件的倾斜误差
MarWin软件平台
“Aspheric”测量和评估软件:
球面
非球面
环面
离轴几何形状
衍射光学元件
专用光学器件
自由曲面


MarForm MFU 200 Aspheric 3D是一台具有高准确度的基准形状检测器。
它能够执行各种光学和接触式形状测量任务。
采用MarForm MFU 200 Aspheric 3D不仅可以测量光学器件,而且它能够在非光学表面上进行复杂轮廓测量。
全新的连续路径控制使得能够通过同时移动两个轴实现沿着标称轮廓移动,能够达到5mm/s的测量速度。光学探头IPS 15能够测量表面上的粗糙度。
为了实现形状、轮廓和粗糙度测量的标准评估,有全面且易于上手的评估软件MarWin可供使用。
光学圆柱形零件的接触式测量和轴线偏移(光轴或机械轴的偏移)的自动计算是众多应用中的一个例子。




              自由曲面测量

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