反射膜厚仪-铂悦仪器（上海）有限公司

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反射膜厚仪

更新时间：2020-08-12

产品品牌：Semiconsoft

产品型号：MProbe Vis

产品描述：MProbe Vis薄膜测厚仪对大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。

MProbe Vis薄膜测厚仪大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如：氧化物，氮化物，光刻胶，高分子聚合物，半导体(硅，单晶硅，多晶硅)，半导体化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂层(碳化硅，类金刚石炭)，聚合物涂层(聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺

大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被MProbe Vis测厚仪测量。比如：氧化物，氮化物，光刻胶，高分子聚合物，半导体(硅，单晶硅，多晶硅)，半导体化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂层(碳化硅，类金刚石炭)，聚合物涂层(聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)。

测量范围: 15 nm -50um

波长范围: 400 nm -1100 nm

MProbe Vis薄膜测厚仪适用于实时在线测量，多层测量，非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

测量指标：薄膜厚度，光学常数

界面友好: 一键式测量和分析。

MProbe Vis薄膜测厚仪实用的工具：曲线拟合和灵敏度分析，背景和变形校正，连接层和材料，多样品测量，动态测量和产线批量处理。

案例1，300nm二氧化硅薄膜的测量：

硅晶圆反射率，测量时间10ms：

案例2，测量500nm氮化铝，测量参数：厚度和表面粗糙度