全自动紫外线芯片应力测量仪-铂悦仪器（上海）有限公司

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全自动紫外线芯片应力测量仪

更新时间：2020-12-14

产品品牌：Frontier Semiconductor

产品型号：FSM360

产品描述：全自动紫外线芯片应力测量仪一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器，主要用与测量芯片应力。

FSM360是一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器，主要用与测量芯片应力。

利用微米直径光斑照射。

芯片会产生另外一个光束（Raman信号），Raman信号的频率有别于原来的光源。

从Raman信号频率我们可以测出样本的应力大小。

紫外线Raman主要用于薄膜或样本表面的应力测量。

可见光Raman主要用于多层薄膜或厚样本的应力测量。

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