更新时间：2024-02-19
产品品牌：布鲁克 Bruker
产品型号：Dektak XTL
布鲁克 探针式轮廓仪系统/台阶仪系统
Dektak XTL
Dektak XTL 探针式轮廓仪系统（台阶仪系统）是为大型晶圆和面板制造等应用而设计的探针式轮廓仪系统，可容纳高达 350mm
x 350mm 的样品，拥有高精度的扫描性能和优异的可重复性和再现性。
设备采用空气振动隔离和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，可用于苛刻的生产环境中。双摄像头架构，可增强空间感知能力。高自动化水平可更大限度地提高测试通量。
产品特点：
- Dektak系列台阶仪所具有的强大性能
革新的设计、全面的配件以及优化的操作和分析软件使Dektak系列台阶仪获得了更强劲的性能和更卓越的重现性。
- 单拱形架构、集成振动隔离系统和大型联锁门
单拱形的架构和空气振动隔离设计使 Dektak XTL 更加稳固，并且能够更加有效的避免设备受到环境噪音的影响。该系统的大型联锁门设计能够使用户在装载/卸载样品时更加的安全和便捷。
- 更大且支持高精度编码 XY 样品工作台
可容纳高达 350mm x 350mm 样品的XY工作台，并能够实现更快的自动数据收集。
- 双摄像头控制系统
Dektak 的双摄像头控制与高清放大双视场相机提供增强的空间感知，实时视频中的点击定位使操作员能够快速将样品移动到正确的位置，以便快速轻松地进行测量设置和自动化编程。
- 方便的分析和数据采集
快速分析仪支持大部分常用分析方法，可轻松实现分析程序自动化，能够通过台阶检测功能将分析集中于复杂样品上感兴趣的特征，并通过赋予每个测量点名称并自动记录到数据库来简化数据分析。
- N-Lite 低作用力，采用软触控技术
具有 1mm 测量范围，可同时用于测量精密和高垂直范围样品。
- 可靠的自动化设置和操作
借助300毫米的自动化编码XY工作合以及360度旋转能力，通过精确编程可实现控制无限制测量位置。带图形识别功能的Vision64位产品软件能够有效减少使用中的定位偏差。支持将自定义用户提示以及其它元数据编入您的方案中，并存储到数据库内。
- 增强的分析软件
系统配备 Vision64 软件，通过数百种内置分析工具实现众多的测量位点、3D成像和高度自定义的特征分析。Vision64软件还能测量形状，如曲率半径。模式识别可更大限度地减少操作员误差并提高测量位置精度。集成化的软件包将数据收集和分析与直观的工作流程相结合。
- 针尖自动校准系统，让用户轻松更换针尖探针
Dektak XTL 的自对齐探针组件允许用户快速轻松地更换不同探针，同时消除换针过程中的潜在风险。
- 广泛的探针型号
布鲁克能够提供广泛的探针尺寸和形状，几乎满足各种应用需求。
应用案例：
· 晶片应用：
沉积薄膜(金属、有机物)的台阶高度
抗蚀剂( 软膜材料)的台阶高度
蚀刻速率测定
化学机械抛光(腐蚀,凹陷,弯曲)
· 大型基板应用:
印刷电路板(凸起、台阶高度 )
窗口涂层
晶片掩模
晶片卡盘涂料
抛光板
· 玻璃基板及显示器应用：
AMOLED
液晶屏研发的台阶步级高度测量
触控面板薄膜厚度测量
太阳能涂层薄膜测量
· 柔性电子器件薄膜：
有机光电探测器
印于薄膜和玻璃上的有机薄膜
触摸屏铜迹线
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