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薄膜应力及基底翘曲测试设备FSM 128

快速、非接触式测量

在衬底镀上薄膜后, 因为两者材质不一样, 所以会引起应力. 如应力太大会引起薄膜脱落, 最终引致组件失效或可靠性不佳的问题. 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有效手段。

快速、非接触式测量
样品台可通用于3至8寸晶圆
128L型号适用于12寸晶圆
128G 型号适用于470 X 370mm样品,
另可按要求订做
专利双激光自动转换技术
如某一波长激光在样本反射度不足,系统会自动使用
另一波长激光进行扫瞄,满足不同材料的应用
全自动平台,可以进行2D及3D扫瞄(可选)
可加入更多功能满足研发的需求
电介质厚度测量
光致发光激振光谱分析
(III-V族的缺陷研究)
500 及 900°C高温型号可选
样品上有图案亦适用


LED
平板显示
半导体

玻璃




测量方式: 非接触式(激光扫瞄)

样本尺寸: 

FSM 128  : 75 mm to 200 mm

FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

FSM 128G: 最大550×650 mm

扫瞄方式: 高精度单次扫瞄、2D/ 3D扫瞄(可选)

激光强度: 根据样本反射度自动调节 

激光波长:  650nm及780nm自动切换(其它波长可选)

薄膜应力范围: 1 MPa — 1.4 GPa(硅片翘曲或弯曲度变化大于1 micron)

重复性: 1% (1 sigma)*

准确度: < 2.5%*

*使用20米半径球面镜

设备尺寸及重量:

FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 270 lbs

FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 280 lbs

FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 400 lbs

电源 : 110V/220V, 20A


马上联系我们:021-37018108info@boyuesh.com



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