随着太阳能电池工业的快速发展，多种光伏技术涌现市场。Bruker的探针式表面轮廓仪Dektak XT可为太阳能电池领域研究的科学家提供快速多种检测方案，Dektak XT探针式表面轮廓仪通过定性、定量或检测多道加工步骤，帮助太阳能电池制造商提能、降低成本，加速太阳能电池的商业化。

1. Dektak XT测试太阳能电池薄膜厚度
    理想的太阳能电池薄膜厚度是制造出太阳能电池的基本条件。透明薄膜还是不透明薄膜，只要构建出基底与薄膜的边界，Dektak XT均能在几秒之内快速准确的完成薄膜厚度的测试。

图1 太阳能电池厚度测试

2. Dektak XT表征太阳能电池的表面粗糙度

   粗糙度是评价太阳电电池能效的重要指标之一，太阳能电池表面太光滑影响光照的吸收，太粗糙大量的散射同样会影响光的吸收，因此，需要对太阳能电池表面粗糙度进行监测。探针式表面轮廓仪亚纳米级别的分辨率能够快速检测太阳能电池二维及三维表面的粗糙度。

图2 太阳能电池表面二维粗糙度

图3 太阳能电池表面三维粗糙度

3. Dektak XT检测太阳能电池表面轨迹及栅线宽度

   为合适的面板及小面积无光伏材料覆盖，监控银线质量及传导轨迹。Dektak XT凭借强大的软件分割功能，可自动计算出栅线的深度、宽度、体积、底面与基底的粗糙度，对比数据库，可快速筛选不合格产品。同时帮助快速得到栅线正确的位置、宽度、深度，从而减少油墨等昂贵材料的浪费，降低成本。

图4 太阳能电池栅线的多种分析

4. Dektak XT优化与控制太阳能电池的生产过程

    Dektak XT用于控制和太阳能电池的制造过程。Dektak XT凭借其200mm的扫描长度，能够快速扫描得出8寸晶圆基底各位置的高度，软件自动快速计算刻蚀与沉积的速率，得到理想的薄膜厚度、表面均匀性及加工次数。

图5 8寸晶圆表面各位置高度

结论：

Dektak XT能够快速的表征太阳能电池表面信息，帮助得到高能、低成本的太阳能电池产品。其主要优势有：

1. 对薄膜材质没有要求，透明、不透明均可，不需制样；

2. 亚纳米级别的纵向分辨率1Å；

3. 软件分析功能；

4. 200mm超长的扫描长度；

5. 业内的台阶重复性，4Å。