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化学气相沉积

    Epiluvac提供了一种独特的方法,用于在较宽的温度范围内培育单晶锗锡硅碳合金的生长,包括选择性和非选择性两种生长。
    通过采用先进的应变工程方法,我们有能力培育(双轴或单轴)拉伸应变和压缩应变层以及无应变锗锡硅碳层。

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